Um capacitor de vácuo é um capacitor que utiliza vácuo como meio dielétrico. Ele consiste em eletrodos de cobre cilíndricos concêntricos hermeticamente selados dentro de um invólucro a vácuo, com os eletrodos formados por meio de um processo de-estiramento usando tiras de cobre de alta-condutividade-isentas de oxigênio. Com base no material do envelope isolante, esses capacitores são classificados em duas categorias: tipos de envelope-de vidro (incluindo as séries CKB e CKBB) e tipos de envelope-de cerâmica (incluindo as séries CKT, CKTB e CKTBS). Eles são caracterizados por capacidade de suportar alta tensão (alcançando centenas de milhares de volts), tamanho compacto, baixa perda dielétrica, alta corrente nominal (com correntes de RF atingindo a faixa de quiloampères) e uma ampla faixa de ajuste de capacitância (até 150:1).
A estrutura do eletrodo deste capacitor foi projetada para evitar arcos e descargas corona, tornando-o adequado para operação em ambientes de alta-altitude. Suas principais aplicações incluem circuitos de sintonia e acoplamento em equipamentos de transmissão e comunicação, sistemas de fabricação de semicondutores, aparelhos de aquecimento industrial de alta-frequência, análises médicas e instrumentos terapêuticos e aceleradores de partículas de alta-energia. Os modos de falha potenciais incluem vazamento de vácuo, rachaduras no isolador cerâmico e deformação do eletrodo; os fatores contribuintes normalmente envolvem estresse mecânico, resfriamento insuficiente, umidade ambiental e corrosão causada por gases nocivos. Durante o transporte, devem ser implementadas medidas adequadas-à prova de choque; durante a manutenção, a integridade do selo do envelope e a presença de corrosão nos componentes metálicos devem ser cuidadosamente inspecionadas.